类金刚石碳膜(diamond-like carbon films,DLC films)是一类与金刚石相似硬度、光学、电学、化学和摩擦学等特性的非晶碳膜。20世纪80年代以来,其各国镀膜技术领域都对这一新型保护材料开展了广泛的研究。类金刚石碳膜内部既含有金刚石结构的sp3杂化键又包含石墨结构的sp2杂化键,这些键呈短程有序排列,一般由sp2键连接成单个的或者破碎的环,构成类似于石墨层状结构的小“聚束”(cluster)。具有碳-碳电子轨道的sp3杂化结构则在这些聚束的边界无规则排列着。但从整体结构来看,类金刚石碳膜仍然表现为典型的非晶结构。类金刚石碳膜具有非常光滑的表面,在基本不改变基体表面粗糙度的情况下,其可直接用于zui终加工工序。
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